昆山真空充氮烘烤箱双层密封腔体结构

真空充氮烘烤箱采用316L不锈钢双层密封腔体结构，配备分子泵组实现10-3Pa级真空环境建立，氮气置换后氧含量可稳定控制在5ppm以下。设备集成七点测温系统和CFD优化风道，在300℃工作温度下实现±1℃的温场均匀性。创新的动态压力补偿系统通过质量流量计（0-30L/min可调）和PID算法，维持工艺过程中±30Pa的压力稳定性。特殊设计的石英加热管配合反射式隔热层，热效率提升40%且使用寿命达8000小时。安全防护系统包含真空联锁装置、过压释放阀和四重气体监测（O2/H2O/CO2/CH4），符合IECEx防爆认证标准。该设备特别适用于MLCC烧结、半导体封装等工艺，其无氧干燥环境可有效防止材料氧化，产品翘曲率降低50%以上。智能控制系统配备远程监控接口，支持工艺配方存储和MES系统对接，实现全自动化生产流程。